专利技术

单晶硅生产中氩气回收纯化装置

申请 (专利)号:201220111489.6

公开 (公告)日:2012-11-07

申请 (专利权)人:杭州杭氧股份有限公司

一种单晶硅生产中氩气回收纯化装置，该装置包括:一用于对从单晶炉中收集的氩气进行粗油过滤的粗油过滤器;在所述粗油过滤器之后依次相连有氩气压缩机和一水冷却器，并在其后相连有可除去氩气中油雾和固体颗粒高精度除油系统;一依次通过加热器和回热器相接于所述高精度除油系统的一级催化反应器以及通过所述回热器相接于所述一级催化反应器的二级催化反应器;一组至少由两只吸附器构成的常温吸附单元相接于所述的二级催化反应器;所述常温吸附单元通过一低温板式换热器以及节流阀连通于低温精馏塔，在该低温精馏塔的底部设置有纯液氩产品出口;它具有氩气回收率高，回收氩气纯度高，氧气含量低，回收纯化能耗低等特点。

一种用于三氯氢硅生产的除尘系统

申请 (专利)号:201220489930.4

公开 (公告)日:2013-03-13

申请 (专利权)人:华陆工程科技有限责任公司

摘要:本实用新型涉及一种用于三氯氢硅生产的除尘系统，包括洗涤塔和洗涤塔顶部的冷凝器，还包括文丘里洗涤器、气液分离罐和循环泵，气液分离罐一端与文丘里洗涤器连接，另外两端分别与气体进口和液体进口连接;循环泵一端与文丘里洗涤器连接，另一端与液体出口连接。其中洗涤塔上部的直径小于下部的直径，上部为穿流板和筛板相结合的结构型式，下部设有内件挡板。本实用新型提供的除尘系统对旋风除尘后的反应气体进行了进一步的处理，反应气体中含有的高沸物、金属氯化物以及微量的细小硅粉在该装置中被除去，使得反应气体在进入冷凝系统时不会堵塞管道和设备，减轻了三氯氢硅中金属氯化物和高沸物的污染，并为装置的连续稳定运行提供了保障。

动态标准气体发生器

申请 (专利)号:201220273322.X

公开 (公告)日:2013-01-02

申请 (专利权)人:重庆瑞信气体有限公司

摘要:本实用新型提出了一种动态标准气体发生器。它包括一个小流量质量流量控制器和一个大流量质量流量控制器，所述小流量质量流量控制器和大流量质量流量控制器通过管路采用双路并联连接的方式，还包括与双路并联管路连接的背压阀。本实用新型的优点是当采用上述结构以后，本实用新型的动态标准气发生器利用各种标准物质渗透管可获得不同含量该标准物质的标准气体;还可对瓶装高浓度的标准气体进行稀释，即可获得该标准气体的微量含量标准物质。

氩气的提纯方法及提纯装置

申请 (专利)号:201110308094.5

公开 (公告)日:2012-12-05

申请 (专利权)人:住友精化株式会社

摘要:本发明所要解决的技术问题是在吸附处理的前处理阶段降低氩气的杂质含有率，减少提纯所需的能量，并以高纯度对氩气进行提纯。本发明的技术方案是在对至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分、氮的氩气进行提纯时，使烃的一部分和油分被活性炭吸附;然后，如果氩气中的氧量在与氢、一氧化碳、烃的全部进行反应所需的氧的设定量以下，则添加氧以使其量超过设定量，并使用催化剂以使该反应进行;然后，在氩气中添加一氧化碳以使其量超过与前述反应所残留的全部氧进行反应所需的设定量，使用钌、钯、或它们混合而成的催化剂以使该反应进行。然后，使氩气中的一氧化碳、二氧化碳、水、氮通过变压吸附法被吸附剂吸附。