SEMI光伏标准介绍

无锡尚德太阳能电力有限公司 梁哲 陈晓东 张光春

一 引言

国际半导体设备与材料协会(SEMI)是一家全球高科技领域的专业协会，创立于1970年，现拥有会员公司2000多家，涉及半导体、平板显示、光伏等领域。目前，有来自600多家公司的2000多名专家投身于SEMI国际产业技术标准活动，SEMI在全球已成立了19个标准技术委员会及200多个工作组，共发布SEMI标准800多项。2007年以来， SEMI在光伏标准领域逐步展开工作，成立了北美、欧洲、日本、中国等多个光伏标准技术委员会。

二 SEMI标准在中国

SEMI于1985年与中国国家标准局(现国家标准化管理委员会前身)在北京举行了第一次定期会议，自此正式启动其在华业务，同时也标志着SEMI标准进入中国。2011年3月，无锡尚德太阳能电力有限公司的《晶体硅光伏组件用减反射镀膜玻璃规范》提案通过SEMI标准技术委员会审核，正式获得立项，标志着中国企业第一次真正主导SEMI光伏标准的制定。随着中国光伏产业的不断壮大，2011年8月SEMI中国办公室召集国内主要光伏企业，提出了成立SEMI中国光伏标准技术委员会的建议，得到了积极响应。2011年12月8日，SEMI全球标准委员会正式批准成立SEMI中国光伏标准技术委员会。成立至今，SEMI中国光伏标准技术委员会共召开2次正式会议，批准5个标准工作组，7项标准立项，为中国企业参与SEMI标准制定提供了良好的平台。

三 SEMI标准组织架构

SEMI标准由SEMI董事会下设的国际标准委员会(简称ISC)负责，ISC下设区域委员会(简称RSC)、技术委员会(简称 TC)、分技术委员会和工作组(简称 TF)等，具体如图1所示 。其中SEMI董事会和ISC主要履行管理职能，各区域委员会主要履行监督职能，TC主要履行技术决策职能，TF主要负责起草标准。

图1 SEMI标准组织架构图

四 SEMI标准参与方式

作为一个开放的平台，个人或企业参与SEMI技术标准制定活动的方式非常简单，在SEMI网站进行注册后并确认需要参与的TC即可。注册时，可选择“基本成员”或“技术委员会成员”两种身份，其区别如下:

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注册成功后，即可与本地区的TC或TF取得联系，以便获得SEMI标准活动的信息，参加标准讨论会议和进行SEMI标准投票。

五 SEMI标准制定流程

经过30多年的发展，SEMI已经形成了一套科学严密的标准制定流程，具有公开透明、快速便捷、代表性广等特点。简单来说，提出新标准制定项目时，应首先向所属区域的TC递交制定申请，并填写《标准立项申请表》(简称SNARF)。TC审核SNARF后，投票确定该项目是否可以获得立项。项目获批立项后，如相关领域已存在TF，则由该TF负责新标准起草工作；如相关领域尚未成立TF，则还应填写《工作组申请表》(简称TFOF)，向TC申请成立新TF，由新TF负责起草标准。

TF完成标准草稿并在TF内形成统一意见后，将标准草稿提交TC审核表决，然后进入全球标准投票。在投票环节中，标准项目的投票反馈率大于等于60%时，本次投票方为有效。TC根据投票阶段的反馈结果，再次评估该标准是否可以发布，还是返回TF进行进一步修改后再次进行投票直至TC同意发布并提交RSC确认。

值得注意的是，虽然SEMI标准由不同区域的TC负责，但全球各TC之间必须协调一致，即同一个题目只能由最先提出的TF起草，其他区域的专家可以参与到该TF的工作，而不能另外提出新标准提案。此项规定确保了SEMI标准在全球各地区间不会出现冲突和矛盾。

六 SEMI光伏标准

光伏产业链所涉及的国际标准如图2所示。与其他国际标准不同，SEMI光伏标准主要针对生产过程，以降低生产成本和提高生产效率为目标，期望在供应商和制造商之间达成统一。

图2 光伏产业链所涉及的国际标准

截止2012年6月，SEMI已发布33余项光伏标准，以“SEMI PV+序号+发布年月”进行编号(表1)。早期发布的光伏标准继承了SEMI标准在半导体材料领域的优势，主要集中在光伏用气体、液体化学品、多晶硅和硅片、光伏设备等方面。2011年，台湾工业研究院负责起草的《SEMI PV23-1011运输条件下晶体硅光伏组件机械振动测试方法》是第一项涉及光伏组件的SEMI标准，随着中国光伏委员会的成立，SEMI标准的适用领域正在逐渐扩大到组件包装、多晶硅包装袋、金属浆料等光伏产业链的各个环节。

七 SEMI中国光伏标准技术委员会

SEMI中国光伏标准技术委员会由来自硅材料厂家、电池和组件厂家，以及光伏设备厂家的代表组成。与其他区域TC不同，SEMI中国光伏标准技术委员会的特色在于增设了“核心委员”一职，由最初发起的19位成员担任(部分成员来自同一单位)，名单见表2。核心委员的设立对于保持参会人员的稳定性和项目的延续性起到了重要作用。

表1 已发布的SEMI光伏标准列表

表2 SEMI中国光伏标准技术委员会核心委员单位

2012年2月6日，SEMI中国光伏标准技术委员会第一次大会暨成立会议在无锡召开，50余位代表出席，本次会议上“晶体硅光伏组件TF”和“光伏用硅片TF”获批成立，《晶体硅组件包装技术要求》、《TGA法测量EVA中VA含量》和《太阳电池用类单晶硅片》3项标准获得立项。

2012年5月18日，SEMI中国光伏标准技术委员会第二次会议在徐州召开，参会人员增加到70余名，本次会议上增补核心委员2人，并成立了“多晶硅包装材料TF”、“金属浆料TF”和“光伏扩散炉测试方法TF”分别负责起草《多晶硅包装用聚乙烯包装袋杂质检测方法》、《P型晶体硅太阳电池正面银浆》、《太阳电池背场用铝浆》、《用于卧式扩散炉的恒温区在线监测法》4项标准。

2012年8月10日，SEMI中国光伏标准技术委员会第三次会议在成都召开。会上通报了SEMI全球光伏标准情况进展，对中国区内5个TF的工作进行回顾，并审核讨论了新标准项目和新TF等事项。