浅谈半导体制造行业危废鉴别的问题与优化建议

刘媛

摘 要：随着我国危险废物规范化管理的进一步加强，危险废物鉴别工作成为规范化管理不可或缺的组成部分。开展科学的危废鉴别工作，可将半导体制造企业存疑的产废，明确其危险特性，有效降低企业固体废物环保安全处置风险。

关键词：危险废物鉴别;鉴别工作实施流程;环保

半导体行业是我国“十三五”规划中的重点发展领域，是国内新兴战略产业。但其环评文件中涉及整体工艺的产废相关基础性数据并不全面，相关信息的收集、分析与研究都面临较大困难，加之目前多数先进制造工艺技术具有垄断保密性质，所以，开展危险废物鉴别对弥补产废基础数据是特别有必要的，更有利于企业对固体废物的规范化管理。

1    半导体行业危废鉴别现状

危险废物鉴别的程序和判别规则来源于《危险废物鉴别通则》，鉴别过程中涉及的样品采集、检测和判断等技术要求出自《危险废物鉴别技术规范》，这两项重要的鉴别规范均在2020年1月1日颁布实施。结合当前半导体行业的危废鉴别现状，采用新规范鉴别、分析危险废物，可使鉴别体系更具可操作性，对总结鉴别实践经验、降低危险废物处置难度有重大意义。

企业鉴别工作实施流程开展前的首要环节就是取得环评文件。根据鉴别规范中针对危险废物的判定规则，通常环评公司会在报告编写或评审阶段罗列出待鉴别的危废项目，从而使企业有明确的鉴别目标。鉴别工作主要包含取样检测及鉴别分析两部分，取样包含初筛取样及正式检测取样，可根据固体废物的各项危险特性超标的可能性，确定检测优先顺序。根据任何一项检测结果判定该固体废物具有危险特性时，可不再检测其他危险特性。鉴别服务公司依照检测结果，分析并编写鉴别报告，后经专家评审认定即完成整套鉴别流程，可确认待测定固体废物有无危险特性。

2    危废鉴别存在的问题

2.1  环评过于从严判定固体废物

半导体行业涉及的固体废物依照《国家危险废物名录》进行辨识，环评阶段发现一部分废物并无对应行业及代码使之完全切合，从工艺流程、产生环节、主要成分、有害成分等角度分析并不能完全排除其危险特性，通常环评阶段类比相同或相似的固体废物危险特性，会从严判定结果。例如废晶圆属于制造工艺中产生的不合格产品，通过分析制造工藝中的砷平衡表，发现可能有微量砷元素进入了晶圆因而被判定为HW24“含砷废物”，通过实际危废鉴别后，发现并未检出砷的急性毒性或浸出毒性的危险特性。从严判定必将导致一些本应作为一般固体废物处置的废弃物转变为危险废物，从而面临收集、运输、处置方式的复杂化，还会使企业废弃物处置成本陡增。

2.2  已定性的固体废物处置风险

高科技行业正在经历与日俱增的产业革新，环评文件由于编写、审核、批准的周期较长，无法保证及时跟进、更新。在环评中已经完成定量定性的固体废物，如果其在生产工艺运行稳定、废物性质稳定的情况下，按照环评要求的处置方式进行处置，可以保障处置合法合规;但当废物性质随工艺变化较大时，该废物危险特性判定结果的有效性则会被质疑。例如，洁净室空气过滤会产生大量的报废空气滤网，其作用为过滤空调吸入的外部空气中微量的污染成分，在环评中被定性为一般工业固废。实际上不同地域气象条件不同，因而外部空气质量也随之变化，为保障洁净室内空气质量合规，就会需要使用更为先进的空调滤芯方可达到满意的去除效率，这些新型空气滤网通常含有催化剂及活性炭。如果企业将含有催化剂及活性炭的固体废物，继续作为一般固废处置，很有可能为企业留下安全环保风险。

3    危废鉴别优化建议

3.1  提高企业自身的危废辨识能力

无论环评文件中有无定性固体废物的危险特性，企业的废弃物管理专责人员都要定期进行自我核查，保证环评表述信息与实际产废情况相吻合。首先，要判断存疑的危险废物是否为在生产过程中产生的，丧失原有利用价值或者虽未丧失利用价值但被抛弃或者放弃的物品、物质，包括法律、行政法规规定纳入固体废物管理的固体废物。只有满足属于固体废物的前提条件，才可以依照《国家危险废物名录》来判断其是否属于危险废物。接下来根据《名录》中行业类别、工艺或装置来定性危险废物，如未匹配到对应项目，可开展危废鉴别，精准判定危险废物，有效控制环境风险。所以，半导体行业在环评阶段之初，不能完全照搬危险废物名录中的行业来源“电子原件制造行业”的产废归类，而是需要根据产废源头的工艺或装置来判定。

3.2  合理优化环评危废鉴别结果

鉴别的意义在于进一步明确其属性，确定其管理范畴。当物品具有较高的利用价值时，对于环评文件已定性或还未定性的危险废物，产生单位可能对于某物品是否属于废物或危险废物存在异议，也可以主动申请重新进行废物危险特性鉴别。另外新版《通则》也明确提出，如果根据其生产的原辅材料和工艺就可以排除其具有危险特性，便可以在不开展危险特性检测工作或辅助性检测工作的情况下，直接作出该固体废物不具有危险特性的属性认定，从而避免了危险废物鉴别过程的过度检测。

4    结语

固体废物危险特性鉴别的完善对固体废物管理，特别是危险废物管理发挥着关键性的作用。事实上，几乎所有固体废物都可找到合理的利用方式和途径。为了能实现这一最终目的，需要企业深刻理解固体废物概念和废物管理的原则，运用已有的法律法规及危险废物鉴别手段，使企业有更加多元化的机会将危险废物处置风险降到最低，创造价值的同时也能节约资源，变废为宝。

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